Специальные газы — это бинарные или много-компонентные смеси чистых газов, газов высокой{1}}чистоты или базовых газов высокой-чистоты, обладающих определенной чистотой, составом или требованиями к эксплуатационным характеристикам и применяемых в определенных областях.
Определение: К специальным газам предъявляются строгие требования к чистоте, содержанию примесей, стабильности и другим показателям. Их обычно готовят с помощью специальных процессов (таких как криогенная дистилляция, адсорбция, мембранное разделение и т. д.) для удовлетворения потребностей точного производства или научных исследований.
Классификация: Электронные газы: используются в полупроводниковой, дисплейной и другой электронной промышленности, например силан, аммиак высокой-чистоты и гексафторид серы, требующие чрезвычайно высокой чистоты и размера частиц.
Газы высокой-чистоты: с чистотой 99,999 % или выше, такие как водород высокой-чистоты и гелий высокой-чистоты, используемые в лабораторном анализе, лазерных технологиях и других областях.
Стандартные газы: Газы, смешанные в определенных пропорциях, используемые для калибровки приборов или мониторинга окружающей среды, например стандартные смеси, содержащие окись углерода и диоксид серы.